网友提问 :1、SONOS 工艺和 ETOX 工艺的差异?后续在 NOR Flash 产品线,基于两种工艺的产品如何规划?
2023-07-03 00:00:00
普冉股份 (688766): 回答:答:SONOS 工艺采用电荷俘获原理,为双管结构,平台设计简洁,需要较低工作电压,同时产生较少功耗损伤,光罩层数更少,具备高性价比、低功耗等优势,此外还可支持页擦除等功能,擦除更快、耐擦写能力强。ETOX 工艺是目前大多数 NOR Flash 厂商采用的主流工艺,基于热电子效应,为单管结构,在大容量领域具备更好的面积优势、更强的安全性和稳定性。制程方面,公司基于 SONOS 工艺已经实现了从 55nm 向 40nm制程迭代,未来将持续推进制程缩减,实现更优芯片性能和更高性价比。ETOX 目前主流工艺制程为 65/55nm,由于热电子效应对物理长度的限制导致沟道尺寸较难进一步缩小,因此向 4Xnm 制程迭代具备一定难度。基于上述工艺差别,公司未来在 NOR Flash 领域将采取中小容量产品以 SONOS 为主,ETOX 为辅;大容量以 ETOX 为主的发展战略,发挥互补协同,实现全容量覆盖,助力公司在 NOR Flash 领域更好更快地发展。谢谢!
2023-07-03 00:00:00