网友提问 :尊敬的董秘你好,贵司通富微电的专利:一种光刻机的晶圆保护模块的位置调整方法及光刻机! 这个专利是由公司控股子公司南通通富微电子有限公司申请的,请问专利已经申请下来了吗?
2023-09-15 11:16:09
通富微电 (002156): 回答:尊敬的投资者,您好!以南通通富微电子有限公司为专利权人的专利“一种光刻机的晶圆保护模块的位置调整方法及光刻机”已于2019年2月19日授权公告,授权公告号:CN 106773542 B,您可以于中国专利公布公告网(http://epub.cnipa.gov.cn/)进行查询。谢谢!
2023-09-26 14:38:40