网友提问 :7、公司在半导体业务上的进展如何?
2023-04-03 00:00:00
晶盛机电 (300316): 回答:答:半导体装备领域,公司所生产的设备主要位于硅片制造环节,在部分工艺环节布局至芯片制造和封装制造端。公司开发生产8-12 英寸半导体大硅片的各类生产加工设备,同时基于产业链延伸,开发出了应用于晶圆及封装端的减薄设备、外延设备、LPCVD设备;以及应用于功率半导体的碳化硅外延设备。目前公司已基本实现 8-12 英寸大硅片设备的全覆盖并批量销售,6 英寸碳化硅外延设备实现批量销售且订单量快速增长,产品质量达到国际先进水平,且公司开发出行业领先的 6 英寸双片式碳化硅外延设备,大幅降低下游生产成本,推动行业效率提升。此外,公司成功研发第四代半导体材料 MPCVD 法金刚石晶体生长设备,并建设基于大尺寸和高产能的研发试验线,持续促进产业创新半导体材料领域,公司在大尺寸 SiC 晶体研发上取得的重大突破,通过自有籽晶经过多轮扩径,成功生长出 8 英寸 N 型碳化硅晶体,解决了 8 英寸 SiC 晶体生长过程中温场不均、晶体开裂、气相原料分布等难点问题,加速大尺寸碳化硅晶体生长和加工技术自主可控,极大地提升了公司在 SiC 单晶衬底行业的核心竞争力。同时,公司积极推进大尺寸碳化硅衬底制备实验线的技术和工艺积累,加强上下游领域的技术交流和产业协同,协同客户不断迭代产品性能,共同推动碳化硅材料的产业化应用步伐。
2023-04-03 00:00:00