网友提问 :请问,液相法碳化硅晶体生长技术公司是否有开发试验吗?这是最新的技术吗?
2023-05-07 16:27:28
晶盛机电 (300316): 回答:您好,感谢您对公司的关注。公司现采用物理气相传输法进行碳化硅晶体生长,公司已掌握行业领先的8英寸碳化硅衬底技术和工艺,并建设了6-8英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光环节的研发实验线,通过持续加强技术创新和工艺积累,逐步实现大尺寸碳化硅晶体生长和加工技术的自主可控。
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