晶盛机电 (300316): 回答：答：公司成功研发出具有国际先进水平的 8 英寸单片式碳化硅外延生长设备，引领国内碳化硅行业技术升级。目前公司在 8 英寸衬底基础上，已实现 8 英寸单片式碳化硅外延生长设备的自主研发与调试，外延的厚度均匀性 1.5%以内、掺杂均匀性 4%以内，已达到行业领先水平,这是公司在第三代半导体设备领域的又一次重要技术突破。8 英寸碳化硅晶圆的边缘损耗更小、可利用面积更大，未来通过产量和规模效益的提升，成本有望降低 60%以上。公司的 8 英寸单片式碳化硅外延生长设备，可为行业提供更为先进的技术支持，推动碳化硅行业的快速发展。

2023-07-12 00:00:00