网友提问 ：8、 请重点介绍下公司高功率薄片超快激光器关键技术与产业化项目在 EUV 光刻机方面的应用情况。
2024-09-10 00:00:00
英诺激光 (301021): 回答：答：尊敬的投资者，您好！在半导体领域，大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术。目前公司已立项“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目，努力推进大能量、窄脉宽、高重复频率、高峰值功率和高平均功率的激光技术落地。目前公司产品未应用于 EUV 光刻机，感谢您的关注！
2024-09-10 00:00:00