网友提问 :领导您好,公司的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目与光刻机光源有关系吗,能不能运用到光刻机,谢谢。
2024-10-15 16:25:35
英诺激光 (301021): 回答:尊敬的投资者,您好!在半导体领域,大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术。感谢您的关注!
2024-10-21 16:10:51
2024-10-15 16:25:35
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