网友提问 ：2、问：用于物理沉积设备清洗技术目前研发进度？预计何时量产？
2023-05-09 00:00:00
富乐德 (301297): 回答：答：公司是国内最早实现半导体 PVD 洗净工艺量产服务的企业之一。国内半导体洗净再生技术大多停留在 28 纳米以上制程，28 纳米以下洗净再生技术大多被日韩和欧美国家垄断；公司 28/14 纳米制程 PVD 部件洗净再生工艺的开发技术较为先进，目前已经掌握了成熟的 28/14纳米制程 PVD 部件清洗再生技术，成功打破了日韩和欧美国家技术垄断。
2023-05-09 00:00:00