网友提问 :您好!请问归公司是否取得一种光刻机运动轨迹规划方法的专利,贵公司是否已经拥有刻机运动轨迹规划的技术和能力,是否已经得到实际应用?麻烦尽快回答一下,谢谢!
2023-09-06 10:15:26
固高科技 (301510): 回答:公司确实于23年上半年获批一项专利。
半导体设备是公司持续多年重点关注的应用领域,详细进展请参阅招股说明书、定期报告等公开信息,谢谢!
2023-09-06 10:54:28
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