网友提问 :请问光刻机运行环境需要提供洁净室服务吗?
2023-09-18 09:50:54
圣晖集成 (603163): 回答:尊敬的投资者,您好!光刻机运行环境需要提供洁净室服务。因光刻机是非常精密的设备,对温度,湿度,微振动,粉尘颗粒等有严格的要求,需要在高阶无尘室运行。谢谢您的关注!
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