网友提问 ：在盛美上海12月的投资者关系活动记录中，提到了与贵公司技术上的对比，着重强调了自己的超临界CO2技术与TEOB技术，贵公司作为后起之秀，希望能够逐步加大研发，早日攻克两种核心技术。
2023-01-11 22:40:16
至纯科技 (603690): 回答：您好，公司在湿法设备方面沿袭与DNS一致的日系技术路线，公司湿法设备已可覆盖28纳米各工序段，并在14纳米以下已有四台设备交付，是国内目前唯一可提供14纳米以下先进制程湿法设备的国产厂商。公司时刻关注湿法领域的先进技术并持续投入研发，希望成为技术覆盖度更广、技术深度更精深的专注于湿法领域的供应商。
2023-01-11 22:40:16