网友提问 ：公司18腔单片清洗设备研发生产进展如何？
2023-03-14 17:26:45
至纯科技 (603690): 回答：您好，公司目前主力产品以12腔为主，腔体的多少并不能作为设备性能更优的指标，主要还得看设备运行的效率与清洗后杂质的数量级等指标，如客户有18腔湿法清洗设备的需求，公司也可以配备。
2023-03-14 17:26:45
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至纯科技
法定名称：
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
公司简介：
2000年11月13日,公司前身上海至纯洁净系统科技有限公司成立。2011年9月9日,公司全体股东一致同意将公司组织形式由有限责任公司整体变更为股份有限公司。
经营范围：
半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售,以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。
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