网友提问 ：3、公司湿法设备在先进制程的技术积累及订单情况如何？
2023-06-30 00:00:00
至纯科技 (603690): 回答：答：公司湿法设备聚焦芯片制造的前道工艺，高端产品包括SPM高温硫酸、去胶、晶背清洗等清洗设备。其中单片SPM工艺应用贯穿整个先进半导体的前、中段工艺，是所有湿法工艺中应用最多的一种设备，SPM 工艺被公认是性能要求最高的工艺，也是最具挑战的湿法工艺设备。在至纯科技的单片SPM获得突破之前，所有的单片SPM设备全部由国外厂商所垄断。公司在核心工序段的高阶设备累计订单量近20台。
2023-06-30 00:00:00