网友提问 ：董秘：公司生产湿法设备是否有7纳米产品交货给客户了谢谢！
2024-04-30 15:42:00
至纯科技 (603690): 回答：您好，目前公司湿法设备在28纳米节点设备开发已经全部完成，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，公司也已取得部分工艺订单交付客户。
2024-04-30 15:42:00
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2024-04-30 15:42:00
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2024-04-30 15:42:00
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至纯科技
法定名称：
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
公司简介：
2000年11月13日,公司前身上海至纯洁净系统科技有限公司成立。2011年9月9日,公司全体股东一致同意将公司组织形式由有限责任公司整体变更为股份有限公司。
经营范围：
半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售,以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。
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