至纯科技 (603690): 回答：公司子公司至微科技是国内湿法设备主要供应商之一，能够覆盖晶圆制造中包括逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求。目前湿法设备在 28 纳米节点设备开发已经全部完成，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，至微也已取得部分工艺订单。2023 年，公司湿法设备新增订单低于公司年初预期，高阶设备在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有所延后，但在高温硫酸、FIN ETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台领域，公司交付和验证进度都在国内领先。公司湿法高端产品包括 SPM 高温硫酸、去胶、晶背清洗等清洗设备取得突破，并交付给多家国内主流晶圆厂，其中至微的S300 SPM 机台单设备在用户量产线上的累计产量截至 2024 年 4 月底已超过 50 万片，是高阶湿法设备国产替代进口的重要里程碑。目前至微是国内单片硫酸设备达到上述单机台量产指标的唯一厂商。

2024-05-29 16:37:00