三孚股份 (603938): 回答：借助公司循环经济优势及现有电子气体产品的生产管理经验，公司拟投资新建年产500吨电子级四氯化硅项目。电子级四氯化硅的原材料为公司自产的高纯四氯化硅。本项目将进一步延伸公司硅系列产品产业链、丰富公司电子级产品种类。电子级四氯化硅与电子级三氯氢硅及电子级二氯二氢硅均为电子特气。电子级四氯化硅主要用于薄膜沉积与蚀刻工艺，随着半导体制程的先进化，电子级四氯化硅被使用于逻辑芯片与存储芯片等领域，市场发展空间较大。目前该产品主要依靠进口，国内规模化生产电子级四氯化硅的企业较少。电子级四氯化硅是公司四氯化硅产品的一个新增应用方向。近年来公司不断拓展普通四氯化硅产品的应用领域，目前已有高纯四氯化硅、气相二氧化硅、正硅酸乙酯、正硅酸甲酯等产品，是公司循环经济中一条重要的硅系列产业链条，后续根据实际生产经营需要，未来公司将逐步探索更多四氯化硅的下游应用方向，提升产品附加值。

2023-02-28 00:00:00