网友提问 :公司ICP刻烛设备可以应用到存储芯片 DRAM 10nm以上吗
2023-04-24 17:00:53
中微公司 (688012): 回答:您好,公司已有的ICP刻蚀设备可以满足55nm,40nm和28纳米逻辑芯片制造中的ICP刻蚀工艺,以及在更先进的逻辑芯片、DRAM、3DNAND存储芯片和特色器件等芯片制造中不断拓展可刻蚀应用范围。更多进展情况请关注公司披露的公告。谢谢您的关注。
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