网友提问 :公司ICP刻烛设备可以应用到存储芯片 DRAM 10nm以上吗

2023-04-24 17:00:53

中微公司 (688012): 回答:您好,公司已有的ICP刻蚀设备可以满足55nm,40nm和28纳米逻辑芯片制造中的ICP刻蚀工艺,以及在更先进的逻辑芯片、DRAM、3DNAND存储芯片和特色器件等芯片制造中不断拓展可刻蚀应用范围。更多进展情况请关注公司披露的公告。谢谢您的关注。

2023-04-24 17:00:53

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中微公司
法定名称:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
公司简介:
中微半导体设备(上海)有限公司成立于2004年5月31日,是一家面向全球的微观加工高端设备公司。
经营范围:
高端半导体设备的研发、生产和销售。
注册地址
上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
办公地址
上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号

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