芯源微 (688037): 回答：2022年，公司生产的前道涂胶显影设备在多项关键技术方面取得突破，成功掌握了超高温度与超高精度烘烤固化技术、自动光学缺陷检测技术等核心技术，可满足更高等级的工艺需求；在前道物理清洗领域，公司新一代高产能物理清洗机可搭载12个工艺腔体，通过优化晶圆传送系统大幅提升了设备产能，第二代清洗喷嘴在实现更高等级颗粒去除能力的同时可降低氮气消耗并减少结构冲击；在后道先进封装领域，化学药品精确供给及回收等技术已达到国际先进水平，在化合物、MEMS、LED芯片制造等领域，高产能架构等技术已达到国际先进水平。 截至2022年12月31日，公司共获得专利授权245项，其中发明专利171项（中国大陆地区发明专利153项，中国台湾地区发明专利16项，美国发明专利2项），实用新型专利45项，外观设计专利29项；拥有软件著作权60项。

2023-04-28 15:48:00