网友提问 :您好,宗总,最近看到芯源微在国产化方面有一定的突破,请问贵公司在28nm及28nm以下的设备进展和订单情况如何,能否详细介绍一下呢,谢谢!
2024-06-07 10:00:00
芯源微 (688037): 回答:尊敬的投资者,您好!公司生产的前道涂胶显影机、前道物理清洗机已经批量应用于国内多家28nm制程晶圆厂,近年来批量销售规模持续增长。截至2023年底,公司前道涂胶显影机28nm以下工艺技术正在验证中。感谢您的关注!
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