网友提问 :请问:公司的PECVD、ALD等设备,单台设备都是3腔么?
2024-06-11 15:34:12
拓荆科技 (688072): 回答:尊敬的投资者,您好!公司已形成多款平台型号,以满足不同客户的需求。公司PF-300T和NF-300H系列型号可以最多搭载3个反应腔。此外,公司陆续推出了多款高产能平台,包括TS-300/TS-300S和PF-300M系列型号,可以最多搭载5个反应腔。感谢您的关注!
2024-06-11 15:34:12
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2024-03-29 00:00:00
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