网友提问 :您好,能否介绍下公司最新研发进展?请问公司后续的研发重点在哪?
2024-11-25 11:41:00
拓荆科技 (688072): 回答:尊敬的投资者,您好!公司目前PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深宽比沟槽填充CVD及混合键合设备均已实现量产。公司将持续跟进国内芯片制造技术的迭代创新和下游客户快速发展的需求,不断突破核心技术,拓展新工艺,进一步扩大以PECVD、ALD、SACVD及HDPCVD为主的薄膜工艺覆盖面,提升薄膜工艺均匀性、颗粒度等关键性能指标,并不断扩大混合键合设备应用领域,谢谢您的关注!
2024-11-25 12:02:00