网友提问 :Q4:请问先进制程和成熟制程对CMP设备技术上的要求有区别吗?
2023-04-30 00:00:00
华海清科 (688120): 回答:A:随技术节点的提升,对CMP设备的技术要求会有较大提高。公司目前在成熟制程已经实现了全部工艺覆盖,同时也具备先进制程的研发能力,正在积极寻找机会进行先进制程工艺的验证和扩展。
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2023-05-08 08:56:48
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