网友提问 :请问公司CMP设备14nm制程工艺验证的进展情况?以及更先进制程的研发情况?
2023-12-06 14:49:00
华海清科 (688120): 回答:尊敬的投资者您好,公司高度重视CMP产品的技术和性能升级,推出了满足更多材质工艺和更先进制程要求的新功能、新模块和新产品,同时公司进一步加大研发投入,持续推进面向更高性能、更先进节点的CMP设备开发及工艺突破!感谢您对公司的关注!
2023-12-06 16:48:00
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