中船特气 (688146): 回答：您好，公司围绕其生产工艺流程建立了完善的核心技术体系，科技创新能力突出，承担电子特种气体领域20余项省部级以上重大课题，其中国家级项目4项。公司针对集成电路刻蚀、清洗、成膜、离子注入等电子特种气体以及光刻机用激光气体开展深度的研发，攻克了合成、纯化、分析、充装和环保等技术难题，取得了一系列重大的科技成果，其中电解氟化技术、精馏技术、吸附技术、化学纯化技术、痕量分析技术获评为国际领先，打破了国外技术垄断，填补了国内空白，实现了电子特种气体“中国制造”，有力支撑了我国集成电路行业的持续健康发展。谢谢！

2023-04-10 14:55:00