请介绍一下电子特种气体？-中船特气互动平台-特特股

网友提问：请介绍一下电子特种气体？

2023-04-10 14:49:00

中船特气 (688146): 回答：您好，电子特种气体是集成电路、显示面板等行业必需的支撑性材料，广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，对于纯度、稳定性、包装容器等具有较高的要求。电子特种气体生产涉及合成、纯化、分析检测、充装等多项工艺技术，具有较高技术壁垒。
集成电路制造涉及上千道工序，工艺极其复杂，需使用上百种电子特种气体。谢谢！