微导纳米 (688147): 回答：尊敬的投资者您好。GAA工艺，又称环绕式栅极工艺，通过在晶体管的四个面周围布置栅极，提高了对通道的控制效率，有助于缩小工艺节点尺寸，是一种先进的半导体制造技术。ALD技术作为可以应用在半导体集成电路领域的一种共性技术，具有薄膜均匀性好、高保形性、成膜质量高等诸多优点。ALD的薄膜台阶覆盖率可以做到将近100%，薄膜可以很均匀地覆盖在深孔和复杂表面上，是其他薄膜沉积技术难以达成的。ALD技术沉积出来的高质量的薄膜能够满足复杂栅极结构中薄膜沉积的要求。感谢您的关注。

2024-07-04 16:19:05