神工股份 (688233): 回答：多晶硅结构件产品，其用途是作为上电极（Shower Head）和下电极（FocusRing）的外部托环（Outer Ring）以及作为实现刻蚀机腔体内部一体化的结构件；从绝对数量来看，多晶硅材质的结构件产品并不多，但随着先进等离子刻蚀机设备向着“大型化”“一体化”方向发展以及设计线宽不断精细化对刻蚀机腔体内 Particle 要求进一步提高，多晶硅结构件因其物理性质与刻蚀机其他核心硅材质的原料、耗材一致，将逐渐替代石英、金属、陶瓷等材质的结构件产品。目前从主流刻蚀机厂家的先进型号产品来看，这一趋势已经显现。在刻蚀、扩散等工艺腔体，硅材质结构件的使用量预计都会扩大。

2023-07-31 00:00:00