网友提问 ：7、在微米级别AOI设备领域，通常把明场、暗场模式集成在一台设备里，而在纳米级别上，明场、暗场模式会拆分设计成不同的产品，请问是为什么？
2023-08-28 00:00:00
中科飞测 (688361): 回答：答：主要原因是与微米级别的图形晶圆缺陷检测设备相比，纳米级别的图形晶圆缺陷检测设备的复杂程度呈现指数级增加，对设备的要求比较高，单台设备的价值更高。明场和暗场设备在功能和特点上不太相同，明场设备能够检测的缺陷的种类比暗场设备要多，但暗场设备的检测速度更快。纳米级别的明场、暗场设备，因为单价高，且同时只能使用其中一种模式，从客户资本投入回报来看，经济效益最高的方式是充分使用单一功能设备。
2023-08-28 00:00:00