网友提问 ：公司目前正在研发的光刻机中，最高能突破多少nm节点？
2023-09-05 16:09:58
芯碁微装 (688630): 回答：尊敬的投资者您好，在制版光刻机领域，目前主流制程在100-400nm工艺区间,公司将尽快推出量产90nm节点制版需求的光刻设备以满足半导体掩膜版技术的更新迭代，感谢关注！
2023-09-05 16:09:58
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芯碁微装股票
芯碁微装
法定名称：
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
公司简介：
2015年6月30日,公司前身合肥芯碁微电子装备有限公司成立。
经营范围：
主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务,主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备以及上述产品的售后维保服务,产品功能涵盖微米到纳米的多领域光刻环节。
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