网友提问 :请问公司是否有光掩模光刻机开发的打算? 公司光刻机最小尺寸是多少?

2023-09-27 15:28:02

芯碁微装 (688630): 回答:尊敬的投资者您好!在制版光刻机领域,随着半导体掩膜版图形尺寸及精度随着半导体技术节点的演化而逐步提升,目前主流制程在100-400nm工艺区间, 公司满足量产90nm节点制版需求的光刻设备即将交付客户,相关信息以公司官网及公告为准,感谢关注!

2023-09-27 15:28:02

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芯碁微装
法定名称:
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
公司简介:
2015年6月30日,公司前身合肥芯碁微电子装备有限公司成立。
经营范围:
主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务,主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备以及上述产品的售后维保服务,产品功能涵盖微米到纳米的多领域光刻环节。
注册地址
安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼
办公地址
安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼

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