网友提问 :请问公司是否有光掩模光刻机开发的打算? 公司光刻机最小尺寸是多少?
2023-09-27 15:28:02
芯碁微装 (688630): 回答:尊敬的投资者您好!在制版光刻机领域,随着半导体掩膜版图形尺寸及精度随着半导体技术节点的演化而逐步提升,目前主流制程在100-400nm工艺区间, 公司满足量产90nm节点制版需求的光刻设备即将交付客户,相关信息以公司官网及公告为准,感谢关注!
2023-09-27 15:28:02
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2023-09-27 15:19:18
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