网友提问 :2、请问公司8英寸碳化硅外延设备是否能够兼容6英寸碳化硅外延生产?

2023-07-12 00:00:00

晶盛机电 (300316): 回答:答:8 英寸单片式碳化硅外延设备可兼容 6、8 寸碳化硅外延生产,在 6 英寸外延设备原有的温度高精度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术基础上,解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题,实现了成熟稳定的 8 英寸碳化硅外延工艺。

2023-07-12 00:00:00

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晶盛机电
法定名称:
浙江晶盛机电股份有限公司
公司简介:
本公司系由成立于2006年12月14日的上虞晶盛机电工程有限公司以整体变更方式设立的股份有限公司。2010年11月19日,晶盛有限通过股东会决议,以截至2010年10月31日经天健会计师事务所审计的净资产138,281,437.73元为基数,按1:0.7232的比例折合股本10,000万元,余额38,281,437.73元计入资本公积,整体变更设立为股份有限公司。2010年12月14日,公司在绍兴市工商局领取注册号为330600400011495的,核准登记的企业名称变更为浙江晶盛机电股份有限公司。
经营范围:
晶体生长设备及其控制系统的研发、制造和销售。
注册地址
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
办公地址
浙江省杭州市临平区顺达路500号

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