盛剑环境 (603324): 回答：尊敬的投资者，您好！半导体附属装备及核心零部件作为公司核心战略创新业务之一，目前公司围绕该领域逐步完成了工艺废气处理设备、真空设备和温控设备的国产化研制。上述设备共同作用于对半导体制程设备反应腔的辅助控制，可使反应腔满足刻蚀、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺所需的环境条件，是半导体制程附属装备中不可或缺的重要组成部分。公司通过产品布局、生产基地建设、高素质研发、运维及管理人才引进，打造先进半导体附属装备及核心零部件平台，持续提升工艺废气处理设备市场份额，加速真空设备、温控设备等半导体核心零部件产业化，壮大运维服务业务板块，满足集成电路、半导体显示及新能源等下游领域日益增长的市场需求。

2024-05-06 09:43:00