至纯科技 (603690): 回答：答：对其他厂商的情况我们可能没有那么了解，我们的涂胶显影设备目前开始交付的是8寸的offline产品，12寸在开发的是Inline Krf。我们的湿法设备在类别上对标日系大厂布局了全部湿法工艺，目前也是国内湿法设备工艺覆盖最全的。我们的单片清洗设备主要面向28纳米12寸的先进制程客户，在各个工艺工序段均已通过验证。核心工序段的拳头产品如高温硫酸、晶背清洗、单片磷酸均取得了好成绩，单片硫酸清洗设备累计订单量已超10台，这也是在晶圆制造专业工艺人员中公认的整个湿法工艺中工艺难度大、价值含量高、一直以来由日系大厂垄断的湿法设备。我们的单片高温硫酸设备结合至纯20多年来对于高纯化学品的系统管理的能力，设计了独特的回收系统，可以帮助用户大量节约高纯硫酸的使用。

2023-02-28 00:00:00