网友提问 ：贵公司在微衍光学元件上有研究吗？是否有成果运用于光刻机？
2024-11-19 16:56:41
至纯科技 (603690): 回答：您好，公司子公司的光电子元器件是实现光电信号转换功能的核心器件，被广泛应用于5G、数据中心等设备中。
2024-11-19 16:56:41
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至纯科技
法定名称：
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
公司简介：
2000年11月13日,公司前身上海至纯洁净系统科技有限公司成立。2011年9月9日,公司全体股东一致同意将公司组织形式由有限责任公司整体变更为股份有限公司。
经营范围：
半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售,以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。
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