网友提问 :Q7:请问公司年报中披露的部分关键CMP工艺类型设备成为工艺基准机台(Baseline)是什么意思?
2023-04-30 00:00:00
华海清科 (688120): 回答:A:此前国内大生产线以应用材料等外国厂商的机台作为工艺基准,其他设备厂商需要满足甚至超越工艺基准机台的各项工艺指标才可能进入。随着公司技术水平的提升,公司机台在国内大生产线的占有率提高,部分关键CMP工艺类型设备正在成为工艺基准机台。
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