神工股份 (688233): 回答：尊敬的投资者，您好！多晶材料由很多晶粒组成，宏观上原子排列是无序的，但单一晶粒内原子排列是有序的，即存在“晶界”；单晶材料整体的原子排列都是有序的。因此，单晶体越大，生产难度越大，成本也越高。多晶材料在超大直径产品方面具有成本优势，但是多晶产品晶界上有缺陷，在集成电路制造的刻蚀工艺中，晶界容易破碎，产生Particle的可能性较高。因此，两种材料的应用领域存在区别：等离子刻蚀机硅电极多是单晶产品，而超大直径的硅结构件可以采用多晶质产品。总体来说，目前刻蚀工艺中应用的绝大多数还是单晶产品。感谢您的关注。

2022-12-06 15:37:00