中科飞测 (688361): 回答：尊敬的投资者您好！ 公司将人工智能和大数据技术应用到半导体质量控制数据上，形成了一系列提升高端半导体制造良率的软件产品，这些软件产品能够在检测和量测设备的基础上进一步为客户在良率管理中赋能，形成完整的质量控制设备和智能软件相结合的良率管理闭环，为客户实现最大化的质量控制对良率管理的提升效果。 （1）良率管理系统：可以为客户提供全维度数据管理、缺陷分类和统计分析、智能根因分析、虚拟量测、交叉分析和良率预测等良率管理功能，帮助客户及时发现、解决和预防产线异常状态，有效提升半导体制造良率和产品性能。在前道制程领域，该系统已应用在多家客户端，覆盖所有需要用到检测和量测的工艺环节，能够为逻辑芯片、存储芯片在全生产流程中有效提升工艺质量水平。在先进封装领域，该系统已在多家国内主要客户产线上运行，管理了上百台检测和量测设备的良率数据，目前正在推广到更多客户产线上。 （2）缺陷自动分类系统：能够完成对不同工艺、不同产品、不同缺陷的高精度检出，实现严重缺陷零漏检，为客户节省80%以上的人工手动复判缺陷类型的工作量，满足了半导体工厂智能化和自动化的需求，目前该系统已在国内多家知名客户中得到应用，包括头部的集成电路前道及先进封装客户。 （3）光刻套刻分析反馈系统：可以实现对光刻机、套刻精度量测设备等多种类、多品牌机型的数据进行整合分析和建模，帮助客户及时监控和优化光刻工艺的偏差，同时通过高阶模型补偿等功能来实现对光刻机光刻套刻偏移量的准确控制，有效地提升光刻机光刻工艺的良率水平。目前该系统主要应用在前道工艺中的逻辑芯片和存储芯片制造等领域，目前已应用在多家国内头部的逻辑芯片、存储芯片制造商的研发及量产光刻工艺环节。

2024-06-07 15:44:00