先锋精科 (688605): 回答：公司通过与主要客户多年的合作开发，经历了国内半导体装备从无到有、从初级到先进制程的发展历程，建立了与国内龙头半导体设备厂商需求高度契合的科技创新能力，已形成较强的技术优势。
作为国内龙头设备厂商的核心金属精密零部件供应商，公司长期配合客户开发、试样、定型新零件，有力支持了国内刻蚀设备和薄膜沉积设备的创新发展，2021年至2024年第一季度，公司累计导入逾 11,000 种新零部件开发，逐年增加，在多种关键工艺零部件上实现国产化突破。
通过持续的技术研发投入，在国产 CCP 高容性高能等离子体刻蚀领域，公司批量生产的腔体已规模化应用在国际最先进的 7nm 及以下芯片刻蚀设备；在国产主流等离子 LED 芯片刻蚀领域，公司是该类设备反应腔室套件的核心供应商；在氮化镓基 LED MOCVD 领域及 12 寸 PECVD 领域，公司是该类设备关键工艺部件——匀气盘的核心供应商。此外，公司通过高端器件的设计及开发技术实现了金属加热器的自主创新突破。谢谢！

2024-11-29 09:52:00