网友提问 ：在光刻机细分领域，我国依然被卡脖子，公司创立之初的奋斗目标是什么，目前募投项目中130-90nm国家级微纳直写光刻机研发进展如何，有无量产
2023-09-15 17:26:47
芯碁微装 (688630): 回答：尊敬的投资者您好！公司始终坚持“光刻改变世界”的企业使命，时刻牢记“IC 装备、世界品牌”的愿景，坚持“以客户为中心”的核心价值观，坚持“以市场需求为导向”，围绕自身技术优势，结合行业发展趋势，持续进行研发创新和产品迭代，满足国内外客户对直写光刻设备的需求。公司130-90nm晶圆制版光刻设备研制及产业化项目已于2022年上半年验收，能够实现最小线宽350nm、CD均匀度10%，产能120min/片，设备性能优异。感谢关注！
2023-09-15 17:26:47