中科飞测 (688361): 回答：尊敬的投资者您好！ （1）公司明场纳米图形晶圆缺陷检测设备已有小批量出货，出货的客户覆盖了国内头部多种类型的客户，在客户端的测试反馈进展比较顺利，未来将进一步开展工艺测试和验证工作； （2）公司暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备已出货到部分客户产线上进行工艺开发与应用验证工作，因为在无图形晶圆缺陷检测设备领域长期的技术积累和技术领先的优势，公司出货的设备成熟度较高，未来的进展预计会比较顺利。 （3）光学关键尺寸设备目前在客户端验证的结果也很好，各项性能指标都能基本满足客户的要求，正在为交付给客户的量产部门做相应的测试工作。

2024-11-22 15:41:00