网友提问 :请深入介绍一下多晶硅结构件的用途及其市场规模?
2022-05-09 14:13:00
神工股份 (688233): 回答:尊敬的投资者您好,感谢您对公司的关注。
多晶硅结构件产品,其用途是作为上电极(Shower Head)和下电极(Focus Ring)的外部托环(Outer Ring)以及作为实现硅片在垂直方向移动的结构件;从多晶硅结构件与单晶硅零部件在集成电路制造厂商的实际消耗量来看,前者是后者的20%左右;从绝对数量来看,多晶硅材质的结构件产品并不多,但随着先进等离子刻蚀机设备向着“大型化”“一体化”方向发展以及设计线宽不断精细化对刻蚀机腔体内Particle要求进一步提高,多晶硅结构件因其物理性质与刻蚀机其他核心硅材质的原料、耗材一致,将逐渐替代石英、金属、陶瓷等材质的结构件产品。目前从主流刻蚀机厂家的先进型号产品来看,这一趋势已经显现。
2022-05-09 14:17:00